博亚体育据启信宝，新三板创新层公司海纳股份（873995）新增专利信息，专利权人为海纳股份，发明人是张庆旭、吴雄杰、肖春柳、聂早早、王志雄、白超、余天威、徐佳俊、刘伟、代明明。专利授权日为2023年6月23日，专利名称为“一种可等距调节的半导体硅片夹持器”，专利类型为中国实用新型专利，专利申请号为CN1.8。

　　该专利摘要显示：本实用新型涉及半导体硅片生产技术领域，具体地说，涉及一种可等距调节的半导体硅片夹持器博亚体育，包括主体支架，还包括设置于主体支架内部的等距调节机构博亚体育，包括设置于主体支架顶面的调节螺母、与调节螺母螺纹连接且延伸到主体支架内的调节螺丝以及连接于调节螺丝底端的第一导轨槽，主体支架底端于第一导轨槽正下方处固定有第二导轨槽，第二导轨槽底部连接有支撑架；设置于主体支架底部的用于夹取及释放硅片的夹持机构，包括若干等间距设置于支撑架底端的真空吸笔。本实用新型可以同时夹取和释放多枚硅片，并且可以在夹取后对硅片间的距离进行等距调节，期间不需单枚取放硅片，可以极大地增加工作效率，还可以有效避免硅片划伤、擦伤。

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